Fabrication of a High-Aspect-Ratio Nano Tip Integrated Micro Cantilever with a ZnO Piezoelectric Actuator: Fid-Bau Portal

Fabrication of a High-Aspect-Ratio Nano Tip Integrated Micro Cantilever with a ZnO Piezoelectric Actuator

Lee, S. H. / Lee, S. S. / Choi, J. J. / Jeon, J. U. / Ro, K.

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Titel:

Fabrication of a High-Aspect-Ratio Nano Tip Integrated Micro Cantilever with a ZnO Piezoelectric Actuator

Beteiligte:

Lee, S. H. (Autor:in) / Lee, S. S. (Autor:in) / Choi, J. J. (Autor:in) / Jeon, J. U. (Autor:in) / Ro, K. (Autor:in) / Lee, S.-S. / Yoon, D.-J. / Lee, J.-H. / Lee, S.

Erschienen in:

Advances in Nondestructive Evaluation Part 2 Proceedings of the 11^t^h Asian Pacific Conference on Nondestructive Testing, Jeju Island, Korea, 3-7 November 2003 ; 1095-1100

KEY ENGINEERING MATERIALS

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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