Fabrication of high aspect ratio silicon micro-tips for field emission devices: Fid-Bau Portal

Fabrication of high aspect ratio silicon micro-tips for field emission devices

In Jae Chung / Murfett, D. B. / Hariz, A. / Haskard, M. R.

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Titel:

Fabrication of high aspect ratio silicon micro-tips for field emission devices

Beteiligte:

In Jae Chung (Autor:in) / Murfett, D. B. (Autor:in) / Hariz, A. (Autor:in) / Haskard, M. R. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 32 ; 4999-5003

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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