Characterization of TiN thin films subjected to nanoindentation using focused ion beam milling: Fid-Bau Portal

Characterization of TiN thin films subjected to nanoindentation using focused ion beam milling

Ma, L. W. / Cairney, J. M. / Hoffman, M. J. / Munroe, P. R.

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Titel:

Characterization of TiN thin films subjected to nanoindentation using focused ion beam milling

Beteiligte:

Ma, L. W. (Autor:in) / Cairney, J. M. (Autor:in) / Hoffman, M. J. (Autor:in) / Munroe, P. R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 237 ; 627-631

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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