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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Structure and interface properties of Mo/B4C/Si multilayers deposited by rf-magnetron sputtering

    Beteiligte:

    Patelli, A. (Autor:in) / Ravagnan, J. (Autor:in) / Rigato, V. (Autor:in) / Salmaso, G. (Autor:in) / Silvestrini, D. (Autor:in) / Bontempi, E. (Autor:in) / Depero, L. E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 238 ; 262-268

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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