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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Plasma-assisted SiC oxidation for power device fabrication

    Beteiligte:

    Mandracci, P. (Autor:in) / Ferrero, S. (Autor:in) / Porro, S. (Autor:in) / Ricciardi, C. (Autor:in) / Richieri, G. (Autor:in) / Scaltrito, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 238 ; 336-340

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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