Silicon carbon nitride cones prepared from an ellipsoid microwave plasma chemical vapor deposition reactor: Fid-Bau Portal

Silicon carbon nitride cones prepared from an ellipsoid microwave plasma chemical vapor deposition reactor

Cheng, W. J. / Jiang, J. C. / Zhang, Y. / Zhu, H. S. / Shen, D. Z.

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Titel:

Silicon carbon nitride cones prepared from an ellipsoid microwave plasma chemical vapor deposition reactor

Beteiligte:

Cheng, W. J. (Autor:in) / Jiang, J. C. (Autor:in) / Zhang, Y. (Autor:in) / Zhu, H. S. (Autor:in) / Shen, D. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 58 ; 3467-3469

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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