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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Nickel silicides in semiconductor processing: thermal budget considerations

    Beteiligte:

    Ramamurthy, S. (Autor:in) / Ramachandran, B. (Autor:in) / Byun, J. S. (Autor:in) / Dixit, T. (Autor:in) / Hunter, A. (Autor:in) / Ramanujam, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 46-50

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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