Tungsten silicide contacts to polycrystalline silicon and silicon-germanium alloys: Fid-Bau Portal

Tungsten silicide contacts to polycrystalline silicon and silicon-germanium alloys

Srinivasan, G. / Bain, M. F. / Bhattacharyya, S. / Baine, P. / Armstrong, B. M. / Gamble, H. S. / McNeill, D. W.

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Titel:

Tungsten silicide contacts to polycrystalline silicon and silicon-germanium alloys

Beteiligte:

Srinivasan, G. (Autor:in) / Bain, M. F. (Autor:in) / Bhattacharyya, S. (Autor:in) / Baine, P. (Autor:in) / Armstrong, B. M. (Autor:in) / Gamble, H. S. (Autor:in) / McNeill, D. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 223-227

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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