Silicon Carbide Vertical JFET with Self-Aligned Nickel Silicide Contacts: Fid-Bau Portal

Silicon Carbide Vertical JFET with Self-Aligned Nickel Silicide Contacts

Vassilevski, K. / Nikitina, I.P. / Horsfall, A.B. / Wright, N.G. / Smith, A.J. / Johnson, C.M.

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Titel:

Silicon Carbide Vertical JFET with Self-Aligned Nickel Silicide Contacts

Beteiligte:

Vassilevski, K. (Autor:in) / Nikitina, I.P. (Autor:in) / Horsfall, A.B. (Autor:in) / Wright, N.G. (Autor:in) / Smith, A.J. (Autor:in) / Johnson, C.M. (Autor:in) / Monakhov, E.V. / Hornos, T. / Svensson, B.G.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2010 ; 670-673

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 679/680

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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