Implant damage and redistribution of indium in indium-implanted thin silicon-on-insulator: Fid-Bau Portal

Implant damage and redistribution of indium in indium-implanted thin silicon-on-insulator

Chen, P. / An, Z. / Zhu, M. / Fu, R. K. / Chu, P. K. / Montgomery, N. / Biswas, S.

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Titel:

Implant damage and redistribution of indium in indium-implanted thin silicon-on-insulator

Beteiligte:

Chen, P. (Autor:in) / An, Z. (Autor:in) / Zhu, M. (Autor:in) / Fu, R. K. (Autor:in) / Chu, P. K. (Autor:in) / Montgomery, N. (Autor:in) / Biswas, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 251-254

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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