Surface damage induced by focused-ion-beam milling in a Si/Si p-n junction cross-sectional specimen: Fid-Bau Portal

Surface damage induced by focused-ion-beam milling in a Si/Si p-n junction cross-sectional specimen

Wang, Z. / Kato, T. / Hirayama, T. / Kato, N. / Sasaki, K. / Saka, H.

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Titel:

Surface damage induced by focused-ion-beam milling in a Si/Si p-n junction cross-sectional specimen

Beteiligte:

Wang, Z. (Autor:in) / Kato, T. (Autor:in) / Hirayama, T. (Autor:in) / Kato, N. (Autor:in) / Sasaki, K. (Autor:in) / Saka, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 241 ; 80-86

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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