Silicon microstructure fabricated by laser micro-patterning method combined with wet etching process: Fid-Bau Portal

Silicon microstructure fabricated by laser micro-patterning method combined with wet etching process

Oishi, T. / Goto, M. / Pihosh, Y. / Kasahara, A. / Tosa, M.

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Titel:

Silicon microstructure fabricated by laser micro-patterning method combined with wet etching process

Beteiligte:

Oishi, T. (Autor:in) / Goto, M. (Autor:in) / Pihosh, Y. (Autor:in) / Kasahara, A. (Autor:in) / Tosa, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 241 ; 223-226

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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