The Texture and Property of Diffusion Barrier of TiN Thin Films: Fid-Bau Portal

The Texture and Property of Diffusion Barrier of TiN Thin Films

Sung, D. Y. / Kim, I. / Lee, M. G. / Yang, B. / Yang, J. M. / Ko, J. K.

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Titel:

The Texture and Property of Diffusion Barrier of TiN Thin Films

Beteiligte:

Sung, D. Y. (Autor:in) / Kim, I. (Autor:in) / Lee, M. G. (Autor:in) / Yang, B. (Autor:in) / Yang, J. M. (Autor:in) / Ko, J. K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 1865-1868

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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