Fabrication and performance analysis of film bulk acoustic wave resonators: Fid-Bau Portal

Fabrication and performance analysis of film bulk acoustic wave resonators

Huang, C. L. / Tay, K. W. / Wu, L.

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Titel:

Fabrication and performance analysis of film bulk acoustic wave resonators

Beteiligte:

Huang, C. L. (Autor:in) / Tay, K. W. (Autor:in) / Wu, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 59 ; 1012-1016

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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