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Fabrication and analysis of ZnO thin film bulk acoustic resonators

Lin, Y. C. / Hong, C. R. / Chuang, H. A.

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Titel:

Fabrication and analysis of ZnO thin film bulk acoustic resonators

Beteiligte:

Lin, Y. C. (Autor:in) / Hong, C. R. (Autor:in) / Chuang, H. A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 3780-3786

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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