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    Titel:

    Ultrahigh-Resolution MEMS Humidity Sensing Elements Based on Film Bulk Acoustic Wave Resonators

    Beteiligte:

    Zhao, H.Y. (Autor:in) / Zhang, D.H. (Autor:in) / Pang, W. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Tang, F.

    Erschienen in:

    Micro-Nano Technology XIV ; 1257-1262

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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