Pattern Evaluation for In-plane Displacement Measurement of Thin Films: Fid-Bau Portal

Pattern Evaluation for In-plane Displacement Measurement of Thin Films

Thota, P. / Leifer, J. / Smith, S. W. / Lumpp, J. K.

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Titel:

Pattern Evaluation for In-plane Displacement Measurement of Thin Films

Beteiligte:

Thota, P. (Autor:in) / Leifer, J. (Autor:in) / Smith, S. W. (Autor:in) / Lumpp, J. K. (Autor:in)

Erschienen in:

EXPERIMENTAL MECHANICS ; 45 ; 18-26

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0014-4851

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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