Preparation of High Quality Cubic Boron Nitride Film by Radio Frequency Magnetron Sputtering and Its Characterization: Fid-Bau Portal

Preparation of High Quality Cubic Boron Nitride Film by Radio Frequency Magnetron Sputtering and Its Characterization

Cai, Z.-h. / Du, Y.-p. / Tan, J. / Zahng, P. / Zhao, J.-j. / Huang, A.-p. / Xu, S.-l. / Yan, H.

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Titel:

Preparation of High Quality Cubic Boron Nitride Film by Radio Frequency Magnetron Sputtering and Its Characterization

Beteiligte:

Cai, Z.-h. (Autor:in) / Du, Y.-p. (Autor:in) / Tan, J. (Autor:in) / Zahng, P. (Autor:in) / Zhao, J.-j. (Autor:in) / Huang, A.-p. (Autor:in) / Xu, S.-l. (Autor:in) / Yan, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS PROTECTION -WUHAN- ; 38 ; 09-12

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1001-1560

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.1

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