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Preparation of boron carbon nitride thin films by radio frequency magnetron sputtering

Liu, L. / Wang, Y. / Feng, K. / Li, Y. / Li, W. / Zhao, C. / Zhao, Y.

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Titel:

Preparation of boron carbon nitride thin films by radio frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Liu, L. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Feng, K. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in) / Li, W. (Autor:in) / Zhao, C. (Autor:in) / Zhao, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 4185-4189

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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