Influence of oxygen on the formation of cubic boron nitride by r.f. magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Influence of oxygen on the formation of cubic boron nitride by r.f. magnetron sputtering

Qi, G. / Le, Y. K.

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Titel:

Influence of oxygen on the formation of cubic boron nitride by r.f. magnetron sputtering

Beteiligte:

Qi, G. (Autor:in) / Le, Y. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 3249-3252

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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