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Study of Carbon Films on Silicon Substrates

Jasek, O. / Elias, M. / Frgala, Z. / Matejkova, J. / Rek, A. / Kadlecikova, M.

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Titel:

Study of Carbon Films on Silicon Substrates

Beteiligte:

Jasek, O. (Autor:in) / Elias, M. (Autor:in) / Frgala, Z. (Autor:in) / Matejkova, J. (Autor:in) / Rek, A. (Autor:in) / Kadlecikova, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 482 ; 203-206

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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