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Effect of annealing on CoSi2 thin films prepared by magnetron sputtering

Cheng, F. / Jiang, C. / Wu, J.

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Titel:

Effect of annealing on CoSi2 thin films prepared by magnetron sputtering

Beteiligte:

Cheng, F. (Autor:in) / Jiang, C. (Autor:in) / Wu, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 119 ; 61-64

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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