Structure and sheet resistance of boron-implanted Ge2Sb2Te5 phase change film: Fid-Bau Portal

Structure and sheet resistance of boron-implanted Ge2Sb2Te5 phase change film

Liu, B. / Song, Z. / Feng, S. / Chen, B.

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Titel:

Structure and sheet resistance of boron-implanted Ge2Sb2Te5 phase change film

Beteiligte:

Liu, B. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in) / Feng, S. (Autor:in) / Chen, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 119 ; 125-130

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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