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    Titel:

    Effect of Substrate Temperature on Crystal Orientation and Residual Stress in RF Sputtered Gallium Nitride Films

    Beteiligte:

    Kusaka, K. (Autor:in) / Hanabusa, T. (Autor:in) / Tominaga, K. (Autor:in) / Yamauchi, N. (Autor:in) / Denis, S. / Hanabusa, T. / He, B. / Mittemeijer, E. / Nan, J. / Noyan, I. C.

    Erschienen in:

    Residual Stresses VII ICRS 7 Proceedings of the 7^t^h International Conference on Residual Stresses, ICRS-7 Xi'an, China, 14-17 June 2004 ; 613-618

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 490/491

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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