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Research on Deposition Diamond-Like Carbon Films with End-Hall plasma Ion Source

Pan, Y.-q. / Zhu, C. / Mi, Q. / Fang, Y.

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Titel:

Research on Deposition Diamond-Like Carbon Films with End-Hall plasma Ion Source

Beteiligte:

Pan, Y.-q. (Autor:in) / Zhu, C. (Autor:in) / Mi, Q. (Autor:in) / Fang, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 23 ; 188-190

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

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