Excimer pulsed laser deposition and annealing of YSZ nanometric films on Si substrates: Fid-Bau Portal

Excimer pulsed laser deposition and annealing of YSZ nanometric films on Si substrates

Caricato, A. P. / Barucca, G. / Di Cristoforo, A. / Leggieri, G. / Luches, A. / Majni, G. / Martino, M. / Mengucci, P.

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Titel:

Excimer pulsed laser deposition and annealing of YSZ nanometric films on Si substrates

Beteiligte:

Caricato, A. P. (Autor:in) / Barucca, G. (Autor:in) / Di Cristoforo, A. (Autor:in) / Leggieri, G. (Autor:in) / Luches, A. (Autor:in) / Majni, G. (Autor:in) / Martino, M. (Autor:in) / Mengucci, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 248 ; 270-275

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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