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    Titel:

    The Effect of Target Purities on Grain Growth in Sputtered Copper Thin Films

    Beteiligte:

    Moriyama, M. (Autor:in) / Morita, T. (Autor:in) / Tsukimoto, S. (Autor:in) / Shimada, M. (Autor:in) / Murakami, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS TRANSACTIONS ; 46 ; 1036-1041

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1345-9678

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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