Pitch Calibration by an Active Temperature Controlled Traceable Atomic Force Microscope and a Laser Diffractometer: Fid-Bau Portal

Pitch Calibration by an Active Temperature Controlled Traceable Atomic Force Microscope and a Laser Diffractometer

Chen, C. J. / Pan, S. P. / Chang, L. C.

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Titel:

Pitch Calibration by an Active Temperature Controlled Traceable Atomic Force Microscope and a Laser Diffractometer

Beteiligte:

Chen, C. J. (Autor:in) / Pan, S. P. (Autor:in) / Chang, L. C. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 89-94

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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