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Development of a Large Range Nanometer Level Profilometer with Controlled Contact Force

Yang, L. / Gao, Y. / Wang, X. / Xie, T.

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Titel:

Development of a Large Range Nanometer Level Profilometer with Controlled Contact Force

Beteiligte:

Yang, L. (Autor:in) / Gao, Y. (Autor:in) / Wang, X. (Autor:in) / Xie, T. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 489-494

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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