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A Contact Stylus Profilometer Based on Linnik Interference Microscope

Yun, J.P. / Zhang, L.L. / Xie, T.B. / Hu, G.Y.

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Titel:

A Contact Stylus Profilometer Based on Linnik Interference Microscope

Beteiligte:

Yun, J.P. (Autor:in) / Zhang, L.L. (Autor:in) / Xie, T.B. (Autor:in) / Hu, G.Y. (Autor:in) / Jin, G.F. / Lee, W.B. / Cheung, C.F. / To, S.

Erschienen in:

Advances in Optics Design and Precision Manufacturing Technologies ; 371-376

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 364/366

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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