Research on the effect of nitrogen implantation doses on the structure of separation by implantation of oxygen and nitrogen: Fid-Bau Portal

Research on the effect of nitrogen implantation doses on the structure of separation by implantation of oxygen and nitrogen

Zhang, E. X. / Yi, W. B. / Chen, J. / Zhang, Z. X. / Wang, X.

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Titel:

Research on the effect of nitrogen implantation doses on the structure of separation by implantation of oxygen and nitrogen

Beteiligte:

Zhang, E. X. (Autor:in) / Yi, W. B. (Autor:in) / Chen, J. (Autor:in) / Zhang, Z. X. (Autor:in) / Wang, X. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 14 ; N42-N45

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

N42-N45

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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