Formation of niobium oxynitrides by rapid thermal processing (RTP): Fid-Bau Portal

Formation of niobium oxynitrides by rapid thermal processing (RTP)

Matylitskaya, V. A. / Bock, W. / Thoma, K. / Kolbesen, B. O.

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Titel:

Formation of niobium oxynitrides by rapid thermal processing (RTP)

Beteiligte:

Matylitskaya, V. A. (Autor:in) / Bock, W. (Autor:in) / Thoma, K. (Autor:in) / Kolbesen, B. O. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 205-210

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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