Formation of Porous Structures on Si Surface by Laser-Assisted Etching: Fid-Bau Portal

Formation of Porous Structures on Si Surface by Laser-Assisted Etching

Zheng, H. Y. / Chai, J. C. / Lam, Y. C. / Zhu, H.

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Titel:

Formation of Porous Structures on Si Surface by Laser-Assisted Etching

Beteiligte:

Zheng, H. Y. (Autor:in) / Chai, J. C. (Autor:in) / Lam, Y. C. (Autor:in) / Zhu, H. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE REVIEW AND LETTERS ; 12 ; 351-354

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0218-625X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530.417

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