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Properties of Si/Mo Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering Method

Maoguo, Z. / Hua, C.

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Titel:

Properties of Si/Mo Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering Method

Beteiligte:

Maoguo, Z. (Autor:in) / Hua, C. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING ; 34 ; 1158-1161

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1002-185X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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