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High Speed Deposition of Y~2O~3 Films by Laser-Assisted Chemical Vapor Deposition

Banal, R. / Kimura, T. / Goto, T.

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Titel:

High Speed Deposition of Y~2O~3 Films by Laser-Assisted Chemical Vapor Deposition

Beteiligte:

Banal, R. (Autor:in) / Kimura, T. (Autor:in) / Goto, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 46 ; 2114-2116

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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