High-speed deposition of dense, dendritic and porous SiO2 films by Nd: YAG laser chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

High-speed deposition of dense, dendritic and porous SiO2 films by Nd: YAG laser chemical vapor deposition

Endo, J. / Ito, A. / Kimura, T. / Goto, T.

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Titel:

High-speed deposition of dense, dendritic and porous SiO2 films by Nd: YAG laser chemical vapor deposition

Beteiligte:

Endo, J. (Autor:in) / Ito, A. (Autor:in) / Kimura, T. (Autor:in) / Goto, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 166 ; 225-229

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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