Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Smoothing of rough a-Si:H surfaces by ion-assisted deposition and sputter erosion
Smoothing of rough a-Si:H surfaces by ion-assisted deposition and sputter erosion
Smoothing of rough a-Si:H surfaces by ion-assisted deposition and sputter erosion
Dalakos, G. T. (Autor:in) / Plawsky, J. L. (Autor:in) / Persans, P. D. (Autor:in)
MATERIALS LETTERS ; 60 ; 15-18
01.01.2006
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
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