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    Titel:

    Fabrication of Flat PZT Cantilevers through MEMS Technologies and Application to Optical MEMS

    Beteiligte:

    Kobayashi, T. (Autor:in) / Tsaur, J. (Autor:in) / Ichiki, M. (Autor:in) / Maeda, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 301 ; 37-40

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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