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    Titel:

    Nanomechanical studies and materials characterization of metal/polymer bilayer MEMS cantilevers

    Beteiligte:

    Pustan, M. (Autor:in) / Dudescu, C. (Autor:in) / Birleanu, C. (Autor:in) / Rymuza, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH ; 104 ; 408-414

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1862-5282

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  669.9

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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