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Integrated MEMS Technologies

Franke, A. E. / King, T.-J. / Howe, R. T.

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Titel:

Integrated MEMS Technologies

Beteiligte:

Franke, A. E. (Autor:in) / King, T.-J. (Autor:in) / Howe, R. T. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 26 ; 291-295

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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