Block Copolymer Lithography: Merging "Bottom-Up" with "Top-Down" Processes: Fid-Bau Portal

Block Copolymer Lithography: Merging "Bottom-Up" with "Top-Down" Processes

Hawker, C. J. / Russell, T. P.

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Titel:

Block Copolymer Lithography: Merging "Bottom-Up" with "Top-Down" Processes

Beteiligte:

Hawker, C. J. (Autor:in) / Russell, T. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 30 ; 952-966

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

15 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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