2D nano/micro hybrid patterning using soft/block copolymer lithography: Fid-Bau Portal

2D nano/micro hybrid patterning using soft/block copolymer lithography

Choi, D. G. / Yu, H. K. / Yang, S. M.

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Titel:

2D nano/micro hybrid patterning using soft/block copolymer lithography

Beteiligte:

Choi, D. G. (Autor:in) / Yu, H. K. (Autor:in) / Yang, S. M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 24 ; 213-216

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0928-4931

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 660

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