Mechanical Characterization of Thin Films by the Capacitance-Voltage Measurement of Microstructures: Fid-Bau Portal

Mechanical Characterization of Thin Films by the Capacitance-Voltage Measurement of Microstructures

Hu, Y. C. / Gau, W. H. / Tu, W. H.

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Titel:

Mechanical Characterization of Thin Films by the Capacitance-Voltage Measurement of Microstructures

Beteiligte:

Hu, Y. C. (Autor:in) / Gau, W. H. (Autor:in) / Tu, W. H. (Autor:in) / Jywe, W. / Chen, C.-L. / Fan, K.-C. / Fung, R. F. / Hanson, S. G. / Hsieh, W.-H. / Hsu, C.-L.

Erschienen in:

Progress on Advanced Manufacture for Micro/Nano Technology 2005: PART 1 - Proceedings of the 2005 International Conference on Advanced Manufacture Taipei, Taiwan, R.O.C. November 28^t^h - December 2^n^d, 2005 ; 145-150

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 505/507

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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