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    Titel:

    MEMS-based microstructures for nanomechanical characterization of thin films

    Beteiligte:

    Boe, A. (Autor:in) / Safi, A. (Autor:in) / Coulombier, M. (Autor:in) / Fabregue, D. (Autor:in) / Pardoen, T. (Autor:in) / Raskin, J.-P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 18 ; 115018

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    115018 pages

    ISSN:

    0964-1726

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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