Effects of argon gas flow rate and guide shell on oxygen concentration in Czochralski silicon growth: Fid-Bau Portal

Effects of argon gas flow rate and guide shell on oxygen concentration in Czochralski silicon growth

Ren, B. / Zhao, L. / Zhao, X. / Wang, H. / Cao, Z. / Zhu, H. / Fu, H.

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Titel:

Effects of argon gas flow rate and guide shell on oxygen concentration in Czochralski silicon growth

Beteiligte:

Ren, B. (Autor:in) / Zhao, L. (Autor:in) / Zhao, X. (Autor:in) / Wang, H. (Autor:in) / Cao, Z. (Autor:in) / Zhu, H. (Autor:in) / Fu, H. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 25 ; 7-10

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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