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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Ion Beam Assisted Deposition of TiN Thin Films on Si Substrate

    Beteiligte:

    Milinovic, V. (Autor:in) / Milosavljevic, M. (Autor:in) / Popovic, M. (Autor:in) / Novakovic, M. (Autor:in) / Perusko, D. (Autor:in) / Radovic, I. (Autor:in) / Bibic, N. (Autor:in) / Uskokovic, D. P. / Milonjic, S. K. / Rakovic, D. I.

    Erschienen in:

    Recent Developments in Advanced Materials and Processes ; 155-160

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 518

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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