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Nanomechanical characterization of amorphous hydrogenated carbon thin films

Fang, T. H. / Chang, W. J.

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Titel:

Nanomechanical characterization of amorphous hydrogenated carbon thin films

Beteiligte:

Fang, T. H. (Autor:in) / Chang, W. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 6243-6248

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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