Characterization of hydrogenated amorphous carbon thin films by end-Hall ion beam deposition: Fid-Bau Portal

Characterization of hydrogenated amorphous carbon thin films by end-Hall ion beam deposition

Tang, Y. / Li, Y. S. / Yang, Q. / Hirose, A.

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Titel:

Characterization of hydrogenated amorphous carbon thin films by end-Hall ion beam deposition

Beteiligte:

Tang, Y. (Autor:in) / Li, Y. S. (Autor:in) / Yang, Q. (Autor:in) / Hirose, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 4699-4705

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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