RF-plasma source qualification and compositional characterisation of GaNAs superlattices using SIMS: Fid-Bau Portal

RF-plasma source qualification and compositional characterisation of GaNAs superlattices using SIMS

Mulcahy, C. P. / Barker, S. J. / Williams, R. S. / Hopkinson, M. / Ashwin, M. J. / Stavrinou, P. N. / Parry, G. / Biswas, S. / Jones, T. S.

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Mulcahy, C. P. / Barker, S. J. / Williams, R. S. / Hopkinson, M. / Ashwin, M. J. / Stavrinou, P. N. / Parry, G. / Biswas, S. / Jones, T. S.

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Titel:

RF-plasma source qualification and compositional characterisation of GaNAs superlattices using SIMS

Beteiligte:

Mulcahy, C. P. (Autor:in) / Barker, S. J. (Autor:in) / Williams, R. S. (Autor:in) / Hopkinson, M. (Autor:in) / Ashwin, M. J. (Autor:in) / Stavrinou, P. N. (Autor:in) / Parry, G. (Autor:in) / Biswas, S. (Autor:in) / Jones, T. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7218-7220

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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