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Silicon isotope superlattices: Ideal SIMS standards for shallow junction characterization

Shimizu, Y. / Takano, A. / Itoh, K. M.

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Titel:

Silicon isotope superlattices: Ideal SIMS standards for shallow junction characterization

Beteiligte:

Shimizu, Y. (Autor:in) / Takano, A. (Autor:in) / Itoh, K. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 1345-1347

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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